AALBORG模擬質(zhì)量流量控制器AFC，產(chǎn)品概要

AFC 模擬熱式質(zhì)量流量控制器

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

剛性金屬結(jié)構(gòu)

可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 100 slpm

大壓力 1000 psig (70 bar)

0-5 Vdc 或 4-20 mA 信號(hào)

泄漏完整性 1 x 10 -9 smL/sec 氦氣

±1% 滿量程精度

累加器選項(xiàng)

電路保護(hù)

AFC 模擬質(zhì)量流量控制器

AFC 型模擬質(zhì)量流量控制器旨在指示流量和控制氣體的設(shè)定流量。

這些單元中的每一個(gè)都包含一個(gè)先進(jìn)的直管傳感器以及由不銹鋼制成的流道元件。命令模塊的 LED 讀數(shù)提供 0 到 100% 的校準(zhǔn)。從變送器外部可以方便地進(jìn)行零位和跨度調(diào)整。

操作原理

計(jì)量氣體分為兩條層流路徑，一條通過(guò)主流管道，另一條通過(guò)毛細(xì)管傳感器管。兩個(gè)流道都設(shè)計(jì)為確保層流，因此它們的流速比是恒定的。

傳感器管上的兩個(gè)精密溫度傳感繞組被加熱，當(dāng)流動(dòng)發(fā)生時(shí)，氣體將熱量從上游帶到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

惠斯通電橋設(shè)計(jì)用于監(jiān)測(cè)傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時(shí)流量成線性比例。

生成 0 至 5Vdc 或 4 至 20mA 的輸出信號(hào)，指示計(jì)量氣體的基于質(zhì)量分子的流速。

In AFC mass flow controllers the combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環(huán)控制電路連續(xù)監(jiān)測(cè)質(zhì)量流量輸出并將其保持在設(shè)定流量。

在規(guī)定的限制范圍內(nèi)，流速不受溫度和壓力變化的影響。

AFC 質(zhì)量流量控制器包括一個(gè)電磁控制閥，該閥允許將流量設(shè)置為特定型號(hào)范圍內(nèi)的任何所需流量。作為安全功能，閥門通常處于關(guān)閉狀態(tài)，以確保在斷電的情況下關(guān)閉氣流。

AFC 質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于計(jì)量和控制氣體流量，流量范圍為 10 sccm 至 100 slpm [N2]。氣體通過(guò) 1/4”、3/8” 或可選的 1/8” 壓縮接頭連接。這些控制器可用作臺(tái)式裝置或通過(guò)螺釘安裝在底座上。

傳感器電源端口有保險(xiǎn)絲和極性保護(hù)。

氦氣泄漏完整性

1 x 10 -9 smL/sec 大到外部環(huán)境。

質(zhì)量流量系統(tǒng)

完整的質(zhì)量流量系統(tǒng)包括命令模塊、傳感器和電纜。命令模塊包含適當(dāng)?shù)碾娫础в?/span> 3-1/2“ 數(shù)字 LED 讀數(shù)的數(shù)字面板儀表和高精度電位器。外部 RS-232 或 RS-485 是可選的。

命令模塊前面板上的開(kāi)關(guān)選擇 LOCAL 或 REMOTE 參考信號(hào)，模擬輸出可通過(guò)方便的 9 針 D 型連接器訪問(wèn)。